Diolch am ymweld â Nature.com.Rydych chi'n defnyddio fersiwn porwr gyda chefnogaeth CSS gyfyngedig.I gael y profiad gorau, rydym yn argymell eich bod yn defnyddio porwr wedi'i ddiweddaru (neu analluogi Modd Cydnawsedd yn Internet Explorer).Yn ogystal, er mwyn sicrhau cefnogaeth barhaus, rydym yn dangos y wefan heb arddulliau a JavaScript.
Yn arddangos carwsél o dri sleid ar unwaith.Defnyddiwch y botymau Blaenorol a Nesaf i symud trwy dri sleid ar y tro, neu defnyddiwch y botymau llithrydd ar y diwedd i symud trwy dri sleid ar y tro.
Mae ymyrraeth laser uniongyrchol (DLIP) ynghyd â strwythur arwyneb cyfnodol a achosir gan laser (LIPSS) yn caniatáu creu arwynebau swyddogaethol ar gyfer deunyddiau amrywiol.Fel arfer cynyddir trwygyrch y broses trwy ddefnyddio pŵer laser cyfartalog uwch.Fodd bynnag, mae hyn yn arwain at gronni gwres, sy'n effeithio ar garwedd a siâp y patrwm arwyneb sy'n deillio o hynny.Felly, mae angen astudio'n fanwl ddylanwad tymheredd y swbstrad ar forffoleg yr elfennau ffug.Yn yr astudiaeth hon, roedd yr arwyneb dur wedi'i batrwm â ps-DLIP ar 532 nm.Er mwyn ymchwilio i effaith tymheredd y swbstrad ar y topograffi canlyniadol, defnyddiwyd plât gwresogi i reoli'r tymheredd.Arweiniodd gwresogi i 250 \(^{\circ }\)С at ostyngiad sylweddol yn nyfnder y strwythurau ffurfiedig o 2.33 i 1.06 µm.Roedd y gostyngiad yn gysylltiedig ag ymddangosiad gwahanol fathau o LIPSS yn dibynnu ar gyfeiriadedd y grawn swbstrad ac ocsidiad arwyneb a achosir gan laser.Mae'r astudiaeth hon yn dangos effaith gref tymheredd swbstrad, a ddisgwylir hefyd pan fydd triniaeth arwyneb yn cael ei berfformio ar bŵer laser cyfartalog uchel i greu effeithiau cronni gwres.
Mae dulliau trin wyneb sy'n seiliedig ar arbelydru laser pwls ultrashort ar flaen y gad mewn gwyddoniaeth a diwydiant oherwydd eu gallu i wella priodweddau wyneb y deunyddiau perthnasol pwysicaf1.Yn benodol, mae ymarferoldeb wyneb arferiad a achosir gan laser yn fodern iawn ar draws ystod eang o sectorau diwydiannol a senarios cymhwyso1,2,3.Er enghraifft, mae Vercillo et al.Mae priodweddau gwrth-eisin wedi'u dangos ar aloion titaniwm ar gyfer cymwysiadau awyrofod yn seiliedig ar uwch-hydroffobigedd a achosir gan laser.Adroddodd Epperlein et al y gall nodweddion nanog a gynhyrchir gan strwythuro arwyneb laser ddylanwadu ar dwf biofilm neu ataliad ar sbesimenau dur5.Yn ogystal, mae Guai et al.hefyd wedi gwella priodweddau optegol celloedd solar organig.6 Felly, mae strwythuro laser yn caniatáu cynhyrchu elfennau strwythurol cydraniad uchel trwy abladiad rheoledig o'r deunydd arwyneb1.
Techneg strwythuro laser addas ar gyfer cynhyrchu strwythurau arwyneb cyfnodol o'r fath yw siapio ymyrraeth laser uniongyrchol (DLIP).Mae DLIP yn seiliedig ar ymyrraeth agos-wyneb dau neu fwy o drawstiau laser i ffurfio arwynebau patrymog gyda nodweddion yn yr ystod micromedr a nanomedr.Yn dibynnu ar nifer a polareiddio'r trawstiau laser, gall DLIP ddylunio a chreu amrywiaeth eang o strwythurau arwyneb topograffig.Dull addawol yw cyfuno strwythurau DLIP â strwythurau arwyneb cyfnodol a achosir gan laser (LIPSS) i greu topograffeg arwyneb gyda hierarchaeth strwythurol gymhleth8,9,10,11,12.O ran eu natur, dangoswyd bod yr hierarchaethau hyn yn darparu perfformiad gwell fyth na modelau un raddfa13.
Mae swyddogaeth LIPSS yn destun proses hunan-ymhelaethu (adborth cadarnhaol) yn seiliedig ar fodiwleiddio cynyddol ger yr wyneb o'r dosbarthiad dwyster ymbelydredd.Mae hyn oherwydd cynnydd mewn nanoroughness wrth i nifer y corbys laser cymhwysol gynyddu 14, 15, 16. Mae modiwleiddio yn digwydd yn bennaf oherwydd ymyrraeth y don a allyrrir â'r maes electromagnetig15,17,18,19,20,21 o blygiant a cydrannau tonnau gwasgaredig neu blasons arwyneb.Mae amseriad y corbys22,23 hefyd yn effeithio ar ffurfio LIPSS.Yn benodol, mae pwerau laser cyfartalog uwch yn anhepgor ar gyfer triniaethau wyneb cynhyrchiant uchel.Mae hyn fel arfer yn gofyn am ddefnyddio cyfraddau ailadrodd uchel, hy yn yr ystod MHz.O ganlyniad, mae'r pellter amser rhwng corbys laser yn fyrrach, sy'n arwain at effeithiau cronni gwres 23, 24, 25, 26. Mae'r effaith hon yn arwain at gynnydd cyffredinol yn y tymheredd arwyneb, a all effeithio'n sylweddol ar y mecanwaith patrwm yn ystod abladiad laser.
Mewn gwaith blaenorol, mae Rudenko et al.a Tzibidis et al.Trafodir mecanwaith ar gyfer ffurfio strwythurau darfudol, a ddylai ddod yn fwyfwy pwysig wrth i grynhoad gwres gynyddu19,27.Yn ogystal, mae Bauer et al.Cydberthynwch y swm critigol o groniad gwres â strwythurau arwyneb micron.Er gwaethaf y broses hon o ffurfio strwythur a achosir gan thermol, credir yn gyffredinol y gellir gwella cynhyrchiant y broses yn syml trwy gynyddu'r gyfradd ailadrodd28.Er na ellir cyflawni hyn, yn ei dro, heb gynnydd sylweddol mewn storio gwres.Felly, efallai na fydd strategaethau proses sy'n darparu topoleg aml-lefel yn gludadwy i gyfraddau ailadrodd uwch heb newid cineteg y broses a ffurfiant strwythur9,12.Yn hyn o beth, mae'n bwysig iawn ymchwilio i sut mae tymheredd y swbstrad yn effeithio ar y broses ffurfio DLIP, yn enwedig wrth wneud patrymau wyneb haenog oherwydd ffurfio LIPSS ar yr un pryd.
Nod yr astudiaeth hon oedd gwerthuso effaith tymheredd y swbstrad ar dopograffi arwyneb canlyniadol yn ystod prosesu DLIP o ddur di-staen gan ddefnyddio corbys ps.Yn ystod prosesu laser, daethpwyd â thymheredd y swbstrad sampl hyd at 250 \(^\circ\)C gan ddefnyddio plât gwresogi.Nodweddwyd y strwythurau arwyneb dilynol gan ddefnyddio microsgopeg confocal, sganio microsgopeg electron, a sbectrosgopeg pelydr-X sy'n gwasgaru ynni.
Yn y gyfres gyntaf o arbrofion, proseswyd y swbstrad dur gan ddefnyddio ffurfweddiad DLIP dau belydr gyda chyfnod gofodol o 4.5 µm a thymheredd swbstrad o \(T_{\mathrm{s}}\) 21 \(^{\circ }\)C, y cyfeirir ato o hyn ymlaen fel arwyneb “heb ei gynhesu ».Yn yr achos hwn, gorgyffwrdd pwls \(o_{\mathrm {p}}\) yw'r pellter rhwng dau guriad fel ffwythiant o faint sbot.Mae'n amrywio o 99.0% (100 corbys fesul safle) i 99.67% (300 corbys fesul safle).Ym mhob achos, defnyddiwyd dwysedd egni brig \(\Phi_\mathrm {p}\) = 0.5 J/cm\(^2\) (ar gyfer cywerth Gaussian heb ymyrraeth) ac amledd ailadrodd f = 200 kHz.Mae cyfeiriad polareiddio'r trawst laser yn gyfochrog â symudiad y tabl lleoli (Ffig. 1a)), sy'n gyfochrog â chyfeiriad y geometreg llinol a grëir gan y patrwm ymyrraeth dwy-beam.Mae delweddau cynrychioliadol o'r strwythurau a gafwyd gan ddefnyddio microsgop electron sganio (SEM) i'w gweld yn y Ffigys.1a–c.I gefnogi'r dadansoddiad o ddelweddau SEM o ran topograffeg, perfformiwyd trawsnewidiadau Fourier (FFTs, a ddangosir mewn mewnosodiadau tywyll) ar y strwythurau a oedd yn cael eu gwerthuso.Ym mhob achos, roedd y geometreg DLIP canlyniadol yn weladwy gyda chyfnod gofodol o 4.5 µm.
Ar gyfer yr achos \(o_{\mathrm{p}}\) = 99.0% yn ardal dywyllach Ffig.1a, sy'n cyfateb i sefyllfa'r uchafswm ymyrraeth, gall un arsylwi rhigolau sy'n cynnwys strwythurau cyfochrog llai.Maent bob yn ail â bandiau mwy disglair wedi'u gorchuddio â thopograffeg tebyg i nanoronynnau.Oherwydd ei bod yn ymddangos bod y strwythur cyfochrog rhwng y rhigolau yn berpendicwlar i bolareiddio'r pelydr laser a bod ganddo gyfnod o \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) 418\(\pm 65\) nm, ychydig gellir galw llai na thonfedd y laser \(\ lambda\) (532 nm) yn LIPSS ag amledd gofodol isel (LSFL-I)15,18.Mae LSFL-I yn cynhyrchu signal math s fel y'i gelwir yn y FFT, gwasgariad “s”15,20.Felly, mae'r signal yn berpendicwlar i'r elfen fertigol ganolog gref, sydd yn ei dro yn cael ei gynhyrchu gan y strwythur DLIP ( \(\ Lambda _{ \ mathrm {DLIP}} \) \(\approx\) 4.5 µm).Cyfeirir at y signal a gynhyrchir gan strwythur llinellol y patrwm DLIP yn y ddelwedd FFT fel “math DLIP”.
Delweddau SEM o strwythurau arwyneb wedi'u creu gan ddefnyddio DLIP.Y dwysedd egni brig yw \(\Phi _\mathrm {p}\) = 0.5 J/cm\(^2\) (ar gyfer cywerth Gaussian di-sŵn) a chyfradd ailadrodd f = 200 kHz.Mae'r delweddau'n dangos tymheredd sampl, polareiddio a throshaenu.Mae symudiad y cyfnod lleoleiddio wedi'i nodi â saeth ddu yn (a).Mae'r mewnosodiad du yn dangos y FFT cyfatebol a gafwyd o'r ddelwedd 37.25\(\times\)37.25 µm SEM (a ddangosir nes i'r donfector ddod yn \(\vec{k}\cdot(2\pi)^ {-1}\) = 200 nm).Mae paramedrau'r broses wedi'u nodi ym mhob ffigur.
Wrth edrych ymhellach i Ffigur 1, gallwch weld wrth i'r gorgyffwrdd \(o_{\mathrm {p}}\) gynyddu, mae'r signal sigmoid wedi'i ganoli'n fwy tuag at echelin-x yr FFT.Mae gweddill LSFL-I yn tueddu i fod yn fwy cyfochrog.Yn ogystal, gostyngodd dwyster cymharol y signal math-s a chynyddodd dwyster y signal math DLIP.Mae hyn oherwydd ffosydd cynyddol amlwg gyda mwy o orgyffwrdd.Hefyd, rhaid i'r signal echelin-x rhwng math s a'r ganolfan ddod o strwythur gyda'r un cyfeiriadedd â LSFL-I ond gyda chyfnod hirach ( \( \ Lambda _ \ mathrm {b} \ ) \( \ approx \ ) 1.4 ± 0.2 µm) fel y dangosir yn Ffigur 1c).Felly, rhagdybir bod eu ffurfiant yn batrwm o byllau yng nghanol y ffos.Mae'r nodwedd newydd hefyd yn ymddangos yn ystod amledd uchel (rhif ton fawr) y gyfesuryn.Daw'r signal o grychdonnau cyfochrog ar lethrau'r ffos, yn fwyaf tebygol oherwydd ymyrraeth digwyddiad a golau a adlewyrchir ymlaen ar y llethrau9,14.Yn y canlynol, dynodir y crychdonnau hyn gan LSFL \ (_ \ mathrm {edge} \), a'u signalau - yn ôl math -s \ (_ { \ mathrm {p)) \).
Yn yr arbrawf nesaf, daethpwyd â thymheredd y sampl i 250 ° C o dan yr arwyneb “gwresog” fel y'i gelwir.Cyflawnwyd y strwythuro yn unol â'r un strategaeth brosesu â'r arbrofion a grybwyllwyd yn yr adran flaenorol (Ffig. 1a–1c).Mae'r delweddau SEM yn darlunio'r topograffi canlyniadol fel y dangosir yn Ffig. 1d–f.Mae gwresogi'r sampl i 250 C yn arwain at gynnydd yn ymddangosiad LSFL, y mae ei gyfeiriad yn gyfochrog â'r polareiddio laser.Gellir nodweddu'r strwythurau hyn fel LSFL-II ac mae ganddynt gyfnod gofodol \(\ Lambda _\mathrm {LSFL-II}\) o 247 ± 35 nm.Nid yw'r signal LSFL-II yn cael ei arddangos yn y FFT oherwydd yr amledd modd uchel.Wrth i \(o_{\mathrm {p}}\) gynyddu o 99.0 i 99.67\(\%\) (Ffig. 1d–e), cynyddodd lled y rhanbarth band llachar, a arweiniodd at ymddangosiad signal DLIP am fwy nag amleddau uchel.tonrifau (amleddau is) ac felly symud tuag at ganol y FFT.Gall y rhesi o byllau yn Ffig. 1d fod yn rhagflaenwyr yr hyn a elwir yn rhigolau a ffurfiwyd yn berpendicwlar i LSFL-I22,27.Yn ogystal, mae'n ymddangos bod LSFL-II wedi dod yn fyrrach ac yn siâp afreolaidd.Sylwch hefyd fod maint cyfartalog bandiau llachar â morffoleg nanograin yn llai yn yr achos hwn.Yn ogystal, roedd dosbarthiad maint y nanoronynnau hyn yn llai gwasgaredig (neu'n arwain at lai o grynodiadau gronynnau) na heb wres.Yn ansoddol, gellir asesu hyn trwy gymharu ffigurau 1a, d neu b, e, yn y drefn honno.
Wrth i'r gorgyffwrdd \(o_{\mathrm {p}}\) gynyddu ymhellach i 99.67% (Ffig. 1f), daeth topograffeg amlwg i'r amlwg yn raddol oherwydd rhychau cynyddol amlwg.Fodd bynnag, mae'r rhigolau hyn yn ymddangos yn llai trefnus ac yn llai dwfn nag yn Ffig. 1c.Mae cyferbyniad isel rhwng rhannau golau a thywyll y ddelwedd yn dangos o ran ansawdd.Cefnogir y canlyniadau hyn ymhellach gan y signal gwannach a mwy gwasgaredig o'r mesuryn FFT yn Ffig. 1f o'i gymharu â'r FFT ar c.Roedd striau llai hefyd yn amlwg ar wresogi wrth gymharu Ffigurau 1b ac e, a gadarnhawyd yn ddiweddarach gan ficrosgopeg confocal.
Yn ogystal â'r arbrawf blaenorol, cafodd polareiddio'r trawst laser ei gylchdroi gan 90 \(^{\circ}\), a achosodd i'r cyfeiriad polareiddio symud yn berpendicwlar i'r llwyfan lleoli.Ar ffig.Mae 2a-c yn dangos y camau cynnar o ffurfio strwythur, \(o_{\mathrm {p}}\) = 99.0% yn heb ei gynhesu (a), wedi'i gynhesu (b) ac wedi'i gynhesu 90 \ ( ^ { \ circ } \ ) - Achos gyda polareiddio cylchdroi (c).I ddelweddu nanotopograffeg y strwythurau, dangosir yr ardaloedd sydd wedi'u marcio â sgwariau lliw mewn Ffigys.2d, ar raddfa fwy.
Delweddau SEM o strwythurau arwyneb wedi'u creu gan ddefnyddio DLIP.Mae paramedrau'r broses yr un fath ag yn Ffig.1.Mae'r ddelwedd yn dangos tymheredd y sampl \(T_s\), polareiddio a gorgyffwrdd curiad y galon \(o_\mathrm {p}\).Mae'r mewnosodiad du eto'n dangos y trawsffurfiad Fourier cyfatebol.Mae'r delweddau yn (d)-(i) yn chwyddiadau o'r ardaloedd sydd wedi'u marcio yn (a)-(c).
Yn yr achos hwn, gellir gweld bod y strwythurau yn ardaloedd tywyllach Ffig. 2b,c yn sensitif i bolareiddio ac felly wedi'u labelu LSFL-II14, 20, 29, 30. Yn nodedig, mae cyfeiriadedd LSFL-I hefyd wedi'i gylchdroi ( Ffig. 2g, i), y gellir ei weld o gyfeiriadedd y signal math-s yn y FFT cyfatebol.Mae lled band y cyfnod LSFL-I yn ymddangos yn fwy o'i gymharu â chyfnod b, ac mae ei amrediad yn cael ei symud tuag at gyfnodau llai yn Ffig. 2c, fel y nodir gan y signal math s ehangach.Felly, gellir arsylwi ar y cyfnod gofodol LSFL canlynol ar y sampl ar wahanol dymereddau gwresogi: \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) = 418\(\pm 65\) nm ar 21 ^{ \circ }\ )C (Ffig. 2a), \(\Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) = 445\(~\pm\) 67 nm a \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-II }} \) = 247 ± 35 nm ar 250 ° C (Ffig. 2b) ar gyfer s polareiddio.I'r gwrthwyneb, mae'r cyfnod gofodol o bolareiddio p a 250 \(^{\circ}\)C yn hafal i \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-I))\) = 390\(\pm 55\) ) nm a \(\ Lambda_{\mathrm{LSFL-II}}\) = 265±35 nm (Ffig. 2c).
Yn nodedig, mae'r canlyniadau'n dangos mai dim ond trwy gynyddu tymheredd y sampl, gall morffoleg yr arwyneb newid rhwng dau begwn, gan gynnwys (i) arwyneb sy'n cynnwys elfennau LSFL-I yn unig a (ii) ardal sydd wedi'i gorchuddio â LSFL-II.Oherwydd bod ffurfio'r math penodol hwn o LIPSS ar arwynebau metel yn gysylltiedig â haenau arwyneb ocsid, perfformiwyd dadansoddiad pelydr-X gwasgaredig ynni (EDX).Mae Tabl 1 yn crynhoi'r canlyniadau a gafwyd.Gwneir pob penderfyniad trwy gyfartaleddu o leiaf bedwar sbectra mewn mannau gwahanol ar wyneb y sampl wedi'i phrosesu.Mae'r mesuriadau'n cael eu cynnal ar dymheredd sampl gwahanol \(T_\mathrm{s}\) a gwahanol leoliadau arwyneb y sampl sy'n cynnwys ardaloedd anstrwythuredig neu strwythuredig.Mae'r mesuriadau hefyd yn cynnwys gwybodaeth am yr haenau dyfnach heb eu hocsidio sy'n gorwedd yn union o dan yr ardal tawdd wedi'i thrin, ond o fewn dyfnder treiddiad electronau'r dadansoddiad EDX.Fodd bynnag, dylid nodi bod yr EDX yn gyfyngedig yn ei allu i feintioli'r cynnwys ocsigen, felly dim ond asesiad ansoddol y gall y gwerthoedd hyn yma ei roi.
Nid oedd y dognau o'r samplau heb eu trin yn dangos symiau sylweddol o ocsigen ar bob tymheredd gweithredu.Ar ôl triniaeth laser, cynyddodd lefelau ocsigen ym mhob achos31.Roedd y gwahaniaeth mewn cyfansoddiad elfennol rhwng y ddau sampl heb ei drin yn unol â'r disgwyl ar gyfer y samplau dur masnachol, a chanfuwyd gwerthoedd carbon sylweddol uwch o gymharu â thaflen ddata'r gwneuthurwr ar gyfer dur AISI 304 oherwydd halogiad hydrocarbon32.
Cyn trafod rhesymau posibl dros y gostyngiad yn nyfnder abladiad rhigol a'r trawsnewidiad o LSFL-I i LSFL-II, defnyddir dwysedd sbectrol pŵer (PSD) a phroffiliau uchder.
(i) Mae dwysedd sbectrol pŵer normaleiddio lled-dau-ddimensiwn (Q2D-PSD) yr arwyneb yn cael ei ddangos fel delweddau SEM yn Ffigurau 1 a 2. 1 a 2. Gan fod y PSD wedi'i normaleiddio, dylai gostyngiad yn y signal swm fod. yn cael ei ddeall fel cynnydd yn y rhan gyson (k \(\le\) 0.7 µm\(^{-1}\), heb ei ddangos), hy llyfnder.(ii) Proffil uchder arwyneb cymedrig cyfatebol.Dangosir tymheredd sampl \(T_s\), gorgyffwrdd \(o_{\mathrm {p}}\), a polareiddio laser E mewn perthynas â chyfeiriadedd \(\vec {v}\) symudiad y llwyfan lleoli ym mhob plot.
I fesur argraff delweddau SEM, cynhyrchwyd sbectrwm pŵer normaleiddio cyfartalog o o leiaf tair delwedd SEM ar gyfer pob paramedr a osodwyd trwy gyfartaleddu'r holl ddwysedd sbectrol pŵer (PSDs) un-dimensiwn (1D) i'r cyfeiriad x neu y.Dangosir y graff cyfatebol yn Ffig. 3i sy'n dangos symudiad amledd y signal a'i gyfraniad cymharol i'r sbectrwm.
Ar ffig.3ia, c, e, mae brig DLIP yn tyfu ger \(k_{\mathrm {DLIP}}~=~2\pi\) (4.5 µm)\(^{-1}\) = 1.4 µm \ ( ^{ - 1}\) neu'r harmonigau uwch cyfatebol wrth i'r gorgyffwrdd gynyddu \(o_{\mathrm {p))\).Roedd cynnydd yn yr osgled sylfaenol yn gysylltiedig â datblygiad cryfach yn strwythur LRIB.Mae osgled harmonig uwch yn cynyddu gyda serthrwydd y llethr.Ar gyfer swyddogaethau hirsgwar fel achosion cyfyngu, mae'r brasamcan yn gofyn am y nifer fwyaf o amleddau.Felly, gellir defnyddio'r brig o gwmpas 1.4 µm \(^{-1}\) yn y PSD a'r harmonics cyfatebol fel paramedrau ansawdd ar gyfer siâp y rhigol.
I'r gwrthwyneb, fel y dangosir yn Ffig. 3(i)b,d,f, mae PSD y sampl wedi'i gynhesu yn dangos copaon gwannach ac ehangach gyda llai o signal yn y harmonics priodol.Yn ogystal, yn ffig.Mae 3(i)f yn dangos bod yr ail signal harmonig hyd yn oed yn fwy na'r signal sylfaenol.Mae hyn yn adlewyrchu strwythur DLIP mwy afreolaidd a llai amlwg y sampl wedi'i gynhesu (o'i gymharu â \(T_s\) = 21\(^\circ\)C).Nodwedd arall yw, wrth i'r gorgyffwrdd \(o_{\mathrm {p}}\) gynyddu, mae'r signal LSFL-I dilynol yn symud tuag at rif ton llai (cyfnod hirach).Gellir esbonio hyn gan y serthrwydd cynyddol o ymylon y modd DLIP a'r cynnydd lleol cysylltiedig yn ongl yr achosion14,33.Yn dilyn y duedd hon, gellid esbonio ehangu'r signal LSFL-I hefyd.Yn ogystal â'r llethrau serth, mae yna hefyd ardaloedd gwastad ar y gwaelod ac uwchben cribau'r strwythur DLIP, gan ganiatáu ar gyfer ystod ehangach o gyfnodau LSFL-I.Ar gyfer deunyddiau amsugnol iawn, amcangyfrifir y cyfnod LSFL-I fel a ganlyn:
lle mae \(\theta\) yn ongl mynychder, ac mae'r tanysgrifiadau s a p yn cyfeirio at wahanol begyniadau33.
Dylid nodi bod y plân mynychder ar gyfer gosodiad DLIP fel arfer yn berpendicwlar i symudiad y llwyfan lleoli, fel y dangosir yn Ffigur 4 (gweler yr adran Deunyddiau a Dulliau).Felly, mae s-polarization, fel rheol, yn gyfochrog â symudiad y llwyfan, ac mae polareiddio p yn berpendicwlar iddo.Yn ôl yr hafaliad.(1), ar gyfer s-polareiddio, disgwylir lledaeniad a symudiad y signal LSFL-I tuag at donrifau llai.Mae hyn oherwydd y cynnydd mewn \(\theta\) a'r amrediad onglog \(\theta \pm \delta \theta\) wrth i ddyfnder y ffos gynyddu.Gellir gweld hyn trwy gymharu'r brigau LSFL-I yn Ffig. 3ia,c,e.
Yn ôl y canlyniadau a ddangosir yn ffig.Mae 1c, LSFL \(_\mathrm {edge}\) hefyd i'w weld yn y PSD cyfatebol yn ffig.3ie.Ar ffig.Mae 3ig,h yn dangos y PSD ar gyfer polareiddio p.Mae'r gwahaniaeth mewn brigau DLIP yn fwy amlwg rhwng samplau wedi'u gwresogi a samplau heb eu gwresogi.Yn yr achos hwn, mae'r signal o LSFL-I yn gorgyffwrdd â harmonigau uwch y brig DLIP, gan ychwanegu at y signal ger y donfedd lasing.
Er mwyn trafod y canlyniadau'n fanylach, mae Ffig. 3ii yn dangos y dyfnder adeileddol a'r gorgyffwrdd rhwng corbys dosraniad uchder llinellol DLIP ar wahanol dymereddau.Cafwyd proffil uchder fertigol yr arwyneb trwy gyfartaleddu deg proffil uchder fertigol unigol o amgylch canol y strwythur DLIP.Ar gyfer pob tymheredd cymhwysol, mae dyfnder y strwythur yn cynyddu gyda gorgyffwrdd pwls cynyddol.Mae proffil y sampl wedi'i gynhesu'n dangos rhigolau gyda gwerthoedd cymedrig brig-i-brig (pvp) o 0.87 µm ar gyfer s-polareiddio a 1.06 µm ar gyfer polareiddio p.Mewn cyferbyniad, mae s-polariad a pholareiddiad p y sampl heb ei gynhesu yn dangos pvp o 1.75 µm a 2.33 µm, yn y drefn honno.Dangosir y pvp cyfatebol yn y proffil uchder yn ffig.3ii.Mae pob cyfartaledd PvP yn cael ei gyfrifo trwy gyfartaledd o wyth PvP sengl.
Yn ogystal, yn ffig.Mae 3iig,h yn dangos y dosbarthiad uchder p-polariad yn berpendicwlar i'r system leoli a symudiad rhigol.Mae cyfeiriad y polareiddio p yn cael effaith gadarnhaol ar ddyfnder y rhigol gan ei fod yn arwain at pvp ychydig yn uwch ar 2.33 µm o'i gymharu â'r polareiddio s ar 1.75 µm pvp.Mae hyn yn ei dro yn cyfateb i'r rhigolau a symudiad y system llwyfan lleoli.Gall yr effaith hon gael ei hachosi gan strwythur llai yn achos s-polareiddio o'i gymharu ag achos pegynu-p (gweler Ffig. 2f,h), a drafodir ymhellach yn yr adran nesaf.
Pwrpas y drafodaeth yw esbonio'r gostyngiad yn nyfnder y rhigol oherwydd y newid yn y prif ddosbarth LIPS (LSFL-I i LSFL-II) yn achos samplau wedi'u gwresogi.Felly atebwch y cwestiynau canlynol:
I ateb y cwestiwn cyntaf, mae angen ystyried y mecanweithiau sy'n gyfrifol am leihau abladiad.Ar gyfer un pwls ar amlder arferol, gellir disgrifio dyfnder yr abladiad fel:
lle mae \(\delta _{\mathrm {E}}\) yw'r dyfnder treiddiad egni, \(\Phi\) a \(\Phi_{\mathrm {th}}\) yw'r rhuglder amsugno a'r fluence Ablation trothwy, yn y drefn honno34 .
Yn fathemategol, mae dyfnder treiddiad egni yn cael effaith luosi ar ddyfnder abladiad, tra bod y newid mewn egni yn cael effaith logarithmig.Felly nid yw newidiadau rhuglder yn effeithio ar \(\Delta z\) cymaint â \(\Phi ~\gg ~\Phi _{\mathrm {th}}\).Fodd bynnag, mae ocsidiad cryf (er enghraifft, oherwydd ffurfio cromiwm ocsid) yn arwain at fondiau Cr-O35 cryfach o'i gymharu â bondiau Cr-Cr, a thrwy hynny gynyddu'r trothwy abladiad.O ganlyniad, nid yw \(\Phi ~\gg ~\Phi_{\mathrm {th}}\) bellach yn fodlon, sy'n arwain at ostyngiad cyflym yn nyfnder abladiad gyda gostyngiad mewn dwysedd fflwcs egni.Yn ogystal, mae cydberthynas rhwng y cyflwr ocsideiddio a'r cyfnod LSFL-II yn hysbys, y gellir ei esbonio gan newidiadau yn y nanostrwythur ei hun a phriodweddau optegol yr arwyneb a achosir gan ocsidiad arwyneb30,35.Felly, mae union ddosbarthiad arwyneb y fluence amsugno \(\Phi\) oherwydd dynameg cymhleth y rhyngweithio rhwng y cyfnod strwythurol a thrwch yr haen ocsid.Yn dibynnu ar y cyfnod, mae'r nanostrwythur yn dylanwadu'n gryf ar ddosbarthiad y fflwcs ynni a amsugnir oherwydd cynnydd sydyn yn y maes, cyffro plasmonau wyneb, trosglwyddiad golau anghyffredin neu wasgaru17,19,20,21.Felly, mae \(\Phi\) yn gryf anhomogenaidd ger yr wyneb, ac mae'n debyg nad yw \(\delta _{E}\) bellach yn bosibl gydag un cyfernod amsugno \( \alpha = \delta _{ \mathrm {opt} } ^ { -1} \approx \delta _{\mathrm {E}}^{-1}\) am y gyfrol gyfan ger yr wyneb.Gan fod trwch y ffilm ocsid yn dibynnu i raddau helaeth ar yr amser solidoli [26], mae'r effaith enwi yn dibynnu ar dymheredd y sampl.Mae'r micrograffau optegol a ddangosir yn Ffigur S1 yn y Deunydd Atodol yn nodi newidiadau yn y priodweddau optegol.
Mae'r effeithiau hyn yn egluro dyfnder y ffosydd bas yn rhannol yn achos strwythurau arwyneb bach yn Ffigurau 1d,e a 2b,c a 3(ii)b,d,f.
Mae'n hysbys bod LSFL-II yn ffurfio ar lled-ddargludyddion, deuelectrig, a deunyddiau sy'n dueddol o ocsideiddio14,29,30,36,37.Yn yr achos olaf, mae trwch yr haen ocsid arwyneb yn arbennig o bwysig30.Datgelodd y dadansoddiad EDX a gynhaliwyd ffurfio ocsidau arwyneb ar yr wyneb strwythuredig.Felly, ar gyfer samplau heb eu gwresogi, mae'n ymddangos bod ocsigen amgylchynol yn cyfrannu at ffurfio gronynnau nwyol yn rhannol ac yn rhannol yn ffurfio ocsidau arwyneb.Mae'r ddau ffenomen yn cyfrannu'n sylweddol at y broses hon.I'r gwrthwyneb, ar gyfer samplau wedi'u gwresogi, mae ocsidau metel o wahanol gyflyrau ocsidiad (SiO \(_{\mathrm {2}}\), Cr\(_{\mathrm {n}} \)O\(_{\mathrm {) m}}\ ), Fe\(_{\mathrm {n}}\)O\(_{\mathrm {m}}\), NiO, etc.) 38 yn glir o blaid.Yn ogystal â'r haen ocsid gofynnol, mae presenoldeb garwedd tandonfedd, LIPSS amledd gofodol uchel (HSFL) yn bennaf, yn angenrheidiol i ffurfio'r moddau dwyster isdonfedd (math-d) gofynnol14,30.Mae'r modd dwyster LSFL-II terfynol yn swyddogaeth o osgled HSFL a thrwch ocsid.Y rheswm am y modd hwn yw ymyrraeth maes pell golau wedi'i wasgaru gan yr HSFL a golau wedi'i blygu i'r deunydd ac yn lluosogi y tu mewn i'r deunydd dielectrig arwyneb20,29,30.Mae delweddau SEM o ymyl y patrwm arwyneb yn Ffigur S2 yn yr adran Deunyddiau Atodol yn arwydd o HSFL sy'n bodoli eisoes.Mae ymyl y dosbarthiad dwyster yn effeithio'n wan ar y rhanbarth allanol hwn, sy'n caniatáu ffurfio HSFL.Oherwydd cymesuredd y dosbarthiad dwyster, mae'r effaith hon hefyd yn digwydd ar hyd y cyfeiriad sganio.
Mae gwresogi sampl yn effeithio ar broses ffurfio LSFL-II mewn sawl ffordd.Ar y naill law, mae cynnydd yn nhymheredd y sampl \(T_\mathrm{s}\) yn cael llawer mwy o effaith ar y gyfradd solidoli ac oeri na thrwch yr haen dawdd26.Felly, mae rhyngwyneb hylif sampl wedi'i gynhesu yn agored i ocsigen amgylchynol am gyfnod hirach o amser.Yn ogystal, mae oedi wrth galedu yn caniatáu datblygu prosesau darfudol cymhleth sy'n cynyddu'r broses o gymysgu ocsigen ac ocsidau â dur hylif26.Gellir dangos hyn trwy gymharu trwch yr haen ocsid a ffurfiwyd gan drylediad yn unig ( \( \ Lambda _ \mathrm {diff} = \ sqrt{D~ \times ~t_\mathrm {s}}~\le ~15\) nm) Yr amser ceulo cyfatebol yw \(t_\mathrm {s}~\le ~200\) ns, a'r cyfernod trylediad \(D~\le\) 10\(^{-5}\) cm\(^ 2 \ )/ s) Gwelwyd neu roedd angen trwch sylweddol uwch yn y ffurfiant LSFL-II30.Ar y llaw arall, mae gwresogi hefyd yn effeithio ar ffurfio HSFL ac felly'r gwrthrychau gwasgariad sydd eu hangen i drosglwyddo i fodd dwyster math d LSFL-II.Mae datguddiad nanooidau sydd wedi'u dal o dan yr wyneb yn awgrymu eu bod yn ymwneud â ffurfio HSFL39.Gall y diffygion hyn gynrychioli tarddiad electromagnetig HSFL oherwydd y patrymau dwysedd cyfnodol amledd uchel gofynnol14,17,19,29.Yn ogystal, mae'r dulliau dwyster a gynhyrchir hyn yn fwy unffurf gyda nifer fawr o nanooidau19.Felly, gellir esbonio'r rheswm dros y cynnydd yn yr achosion o HSFL gan y newid yn nynameg diffygion grisial wrth i \(T_\mathrm{s}\) gynyddu.
Yn ddiweddar, dangoswyd bod cyfradd oeri silicon yn baramedr allweddol ar gyfer gor-ddirlawnder rhyng-ranol cynhenid ac felly ar gyfer cronni diffygion pwynt gyda ffurfio afleoliadau40,41.Mae efelychiadau deinameg moleciwlaidd o fetelau pur wedi dangos bod swyddi gwag yn rhagori yn ystod proses ailgrisialu cyflym, ac felly mae'r casgliad o leoedd gwag mewn metelau yn mynd rhagddo mewn modd tebyg42,43,44.Yn ogystal, mae astudiaethau arbrofol diweddar o arian wedi canolbwyntio ar fecanwaith ffurfio gwagleoedd a chlystyrau oherwydd croniad o ddiffygion pwynt45.Felly, gall cynnydd yn nhymheredd y sampl \(T_\mathrm {s}\) ac, o ganlyniad, gostyngiad yn y gyfradd oeri effeithio ar ffurfio gwagleoedd, sef niwclysau HSFL.
Os yw swyddi gwag yn rhagflaenwyr angenrheidiol i geudodau ac felly HSFL, dylai tymheredd y sampl \(T_s\) gael dwy effaith.Ar y naill law, mae \(T_s\) yn effeithio ar gyfradd ailgrisialu ac, o ganlyniad, ar grynodiad diffygion pwynt (crynodiad swyddi gwag) yn y grisial wedi'i dyfu.Ar y llaw arall, mae hefyd yn effeithio ar y gyfradd oeri ar ôl solidification, a thrwy hynny effeithio ar y trylediad o ddiffygion pwynt yn y grisial 40,41.Yn ogystal, mae'r gyfradd solidification yn dibynnu ar y cyfeiriadedd crisialogaidd ac felly mae'n anisotropig iawn, fel y mae trylediad diffygion pwynt42,43.Yn ôl y rhagosodiad hwn, oherwydd ymateb anisotropig y deunydd, mae rhyngweithiad golau a mater yn dod yn anisotropig, sydd yn ei dro yn ymhelaethu ar y rhyddhad cyfnodol penderfynol hwn o egni.Ar gyfer deunyddiau polycrystalline, gall yr ymddygiad hwn gael ei gyfyngu gan faint un grawn.Mewn gwirionedd, mae ffurfiant LIPSS wedi'i ddangos yn dibynnu ar gyfeiriadedd grawn46,47.Felly, efallai na fydd effaith tymheredd sampl \(T_s\) ar y gyfradd grisialu mor gryf ag effaith cyfeiriadedd grawn.Felly, mae gwahanol gyfeiriadedd crisialog gwahanol grawn yn rhoi esboniad posibl am y cynnydd mewn unedau gwag a chyfuno HSFL neu LSFL-II, yn y drefn honno.
Er mwyn egluro arwyddion cychwynnol y rhagdybiaeth hon, cafodd y samplau crai eu hysgythru i ddatgelu ffurfiant grawn yn agos at yr wyneb.Cymharu grawn yn ffig.Dangosir S3 yn y deunydd atodol.Yn ogystal, ymddangosodd LSFL-I a LSFL-II mewn grwpiau ar samplau wedi'u gwresogi.Mae maint a geometreg y clystyrau hyn yn cyfateb i faint y grawn.
At hynny, dim ond mewn ystod gul y mae HSFL yn digwydd ar ddwysedd fflwcs isel oherwydd ei darddiad darfudol19,29,48.Felly, mewn arbrofion, mae'n debyg mai dim ond ar gyrion proffil y trawst y mae hyn yn digwydd.Felly, ffurfiwyd HSFL ar arwynebau nad ydynt yn ocsidiedig neu wedi'u ocsidio'n wan, a ddaeth yn amlwg wrth gymharu ffracsiynau ocsid samplau wedi'u trin a heb eu trin (gweler tabl reftab: enghraifft).Mae hyn yn cadarnhau'r rhagdybiaeth bod yr haen ocsid yn cael ei ysgogi'n bennaf gan y laser.
O ystyried bod ffurfiant LIPSS yn nodweddiadol yn dibynnu ar nifer y corbys o ganlyniad i adborth rhwng curiadau, gall strwythurau mwy ddisodli HSFLs wrth i orgyffwrdd curiad y galon gynyddu19.Mae HSFL llai rheolaidd yn arwain at batrwm dwyster llai rheolaidd (d-modd) sy'n ofynnol ar gyfer ffurfio LSFL-II.Felly, wrth i'r gorgyffwrdd o \(o_\mathrm {p}\) gynyddu (gweler Ffig. 1 o de), mae rheoleidd-dra LSFL-II yn lleihau.
Ymchwiliodd yr astudiaeth hon i effaith tymheredd swbstrad ar forffoleg wyneb dur di-staen DLIP strwythuredig wedi'i drin â laser.Canfuwyd bod gwresogi'r swbstrad o 21 i 250 ° C yn arwain at ostyngiad yn y dyfnder abladiad o 1.75 i 0.87 µm yn y pegyniad s ac o 2.33 i 1.06 µm yn y polareiddio p.Mae'r gostyngiad hwn oherwydd y newid yn y math LIPSS o LSFL-I i LSFL-II, sy'n gysylltiedig â haen ocsid arwyneb a achosir gan laser ar dymheredd sampl uwch.Yn ogystal, gall LSFL-II gynyddu fflwcs trothwy oherwydd mwy o ocsidiad.Tybir, yn y system dechnolegol hon gyda gorgyffwrdd pwls uchel, dwysedd ynni cyfartalog a chyfradd ailadrodd gyfartalog, bod digwyddiad LSFL-II hefyd yn cael ei bennu gan y newid mewn dynameg dadleoli a achosir gan wresogi sampl.Tybir bod agregiad LSFL-II yn ganlyniad i ffurfiant nanovoidau grawn sy'n dibynnu ar gyfeiriadedd, gan arwain at HSFL fel rhagflaenydd i LSFL-II.Yn ogystal, astudir dylanwad cyfeiriad polareiddio ar y cyfnod strwythurol a lled band y cyfnod strwythurol.Mae'n ymddangos bod polareiddio p yn fwy effeithlon ar gyfer y broses DLIP o ran dyfnder abladiad.Yn gyffredinol, mae'r astudiaeth hon yn datgelu set o baramedrau proses i reoli a gwneud y gorau o ddyfnder abladiad DLIP i greu patrymau arwyneb wedi'u teilwra.Yn olaf, mae'r newid o LSFL-I i LSFL-II yn cael ei yrru'n llwyr gan wres a disgwylir cynnydd bach yn y gyfradd ailadrodd gyda gorgyffwrdd curiad y galon yn gyson oherwydd cynnydd mewn gwres24.Mae'r holl agweddau hyn yn berthnasol i'r her sydd i ddod o ehangu'r broses DLIP, er enghraifft trwy ddefnyddio systemau sganio amlochrog49.Er mwyn lleihau cyn lleied â phosibl o wres, gellir dilyn y strategaeth ganlynol: cadw cyflymder sganio'r sganiwr polygonaidd mor uchel â phosibl, gan fanteisio ar y maint sbot laser mwy, orthogonal i'r cyfeiriad sganio, a defnyddio abladiad gorau posibl.rhuglder 28. Yn ogystal, mae'r syniadau hyn yn caniatáu creu topograffeg hierarchaidd gymhleth ar gyfer gweithredu arwynebau uwch gan ddefnyddio DLIP.
Yn yr astudiaeth hon, defnyddiwyd platiau dur di-staen electropolished (X5CrNi18-10, 1.4301, AISI 304) 0.8 mm o drwch.I gael gwared ar unrhyw halogion o'r wyneb, golchwyd y samplau'n ofalus ag ethanol cyn triniaeth laser (crynodiad absoliwt o ethanol \(\ge\) 99.9%).
Dangosir y gosodiad DLIP yn Ffigur 4. Lluniwyd samplau gan ddefnyddio system DLIP gyda ffynhonnell laser pwls ultrashort 12 ps gyda thonfedd o 532 nm ac uchafswm cyfradd ailadrodd o 50 MHz.Gaussian yw dosbarthiad gofodol egni'r trawst.Mae opteg a ddyluniwyd yn arbennig yn darparu cyfluniad interferometrig trawst deuol i greu strwythurau llinellol ar y sampl.Mae lens â hyd ffocal o 100 mm yn arosod dau drawst laser ychwanegol ar yr wyneb ar ongl sefydlog o 6.8 \ (^\circ\), sy'n rhoi cyfnod gofodol o tua 4.5 µm.Ceir rhagor o wybodaeth am y gosodiad arbrofol mewn man arall50.
Cyn prosesu laser, gosodir y sampl ar blât gwresogi ar dymheredd penodol.Gosodwyd tymheredd y plât gwresogi ar 21 a 250 ° C.Ym mhob arbrawf, defnyddiwyd jet ardraws o aer cywasgedig ar y cyd â dyfais wacáu i atal dyddodiad llwch ar yr opteg.Sefydlir system cam x,y i leoli'r sampl yn ystod y strwythuro.
Amrywiwyd cyflymder y system cam lleoli o 66 i 200 mm/s i gael gorgyffwrdd rhwng corbys o 99.0 i 99.67 \(\%\) yn y drefn honno.Ym mhob achos, roedd y gyfradd ailadrodd yn sefydlog ar 200 kHz, a'r pŵer cyfartalog oedd 4 W, a roddodd egni fesul pwls o 20 μJ.Mae diamedr y trawst a ddefnyddir yn yr arbrawf DLIP tua 100 µm, a'r dwysedd ynni laser brig o ganlyniad yw 0.5 J/cm \(^{2}\).Cyfanswm yr egni a ryddheir fesul ardal uned yw'r ffliwc cronnus brig sy'n cyfateb i 50 J/cm\(^2\) ar gyfer \(o_{\mathrm {p}}\) = 99.0 \(\%\), 100 J/cm \(^2\) ar gyfer \(o_{\mathrm {p))\)=99.5\(\%\) a 150 J/cm\(^2\) ar gyfer \(o_{ \mathrm {p} }\ ) = 99.67 \( \%\).Defnyddiwch y plât \(\lambda\)/2 i newid polareiddiad y pelydr laser.Ar gyfer pob set o baramedrau a ddefnyddir, mae arwynebedd o tua 35 × 5 mm \(^{2}\) wedi'i weadu ar y sampl.Cynhaliwyd yr holl arbrofion strwythuredig o dan amodau amgylchynol i sicrhau cymhwysedd diwydiannol.
Archwiliwyd morffoleg y samplau gan ddefnyddio microsgop confocal gyda chwyddhad 50x a chydraniad optegol a fertigol o 170 nm a 3 nm, yn y drefn honno.Yna cafodd y data topograffig a gasglwyd ei werthuso gan ddefnyddio meddalwedd dadansoddi arwyneb.Tynnu proffiliau o ddata tir yn unol ag ISO 1661051.
Nodweddwyd y samplau hefyd gan ddefnyddio microsgop electron sganio ar foltedd cyflymu o 6.0 kV.Gwerthuswyd cyfansoddiad cemegol arwyneb y samplau gan ddefnyddio atodiad sbectrosgopeg pelydr-X sy'n gwasgaru ynni (EDS) ar foltedd cyflymu o 15 kV.Yn ogystal, defnyddiwyd microsgop optegol gydag amcan 50x i bennu morffoleg gronynnog microstrwythur y samplau. Cyn hynny, cafodd y samplau eu hysgythru ar dymheredd cyson o 50 \(^\circ\)C am bum munud mewn staen dur gwrthstaen gyda chrynodiad asid hydroclorig ac asid nitrig o 15–20 \(\%\) ac 1\( -<\)5 \(\%\), yn y drefn honno. Cyn hynny, cafodd y samplau eu hysgythru ar dymheredd cyson o 50 \(^\circ\)C am bum munud mewn staen dur gwrthstaen gyda chrynodiad asid hydroclorig ac asid nitrig o 15–20 \(\%\) ac 1\( -<\)5 \(\%\), yn y drefn honno. Перед этим образцы травили при постоянной температуре 50 \(^\circ\)С в течение пяти минут в краскежизи и краске иѷе ическе ичелити ной и азотной кислотами концентрацией 15-20 \(\%\) ac 1\( -<\)5 \( \%\) соответственно. Cyn hynny, cafodd y samplau eu hysgythru ar dymheredd cyson o 50 \(^\circ\)C am bum munud mewn paent dur gwrthstaen gydag asidau hydroclorig a nitrig gyda chrynodiad o 15-20 \(\%\) ac 1\( -<\)5 \( \%\) yn y drefn honno.在此之前，样品在不锈钢染色液中以50\(^\circ\)C 的恒温蚀刻五分钟\刻五分钟\亅匸渒渒硓钟刻五分钟亅划渒渒硓钟刻五分钟亅帒渒硓钟庅划渒渒硓划渒渒硝划渒渌硓划渒渒硓庄刏1\( -<\)5 \ (\%\), 分别。在此之前，样品在不锈钢染色液中以50 \(^\circ\)C (\%\),分别。Cyn hynny, cafodd y samplau eu piclo am bum munud ar dymheredd cyson o 50 \(^\circ\)C mewn hydoddiant staenio ar gyfer dur di-staen gyda chrynodiad o asidau hydroclorig a nitrig 15-20 \(\%\) ac 1 \.(-<\)5 \ (\%\) соответственно. (-<\)5 \ (\%\) yn y drefn honno.
Diagram sgematig o osodiad arbrofol gosodiad DLIP dau-belydr, gan gynnwys (1) pelydr laser, (2) plât \(\ lambda\)/2, (3) pen DLIP gyda chyfluniad optegol penodol, (4) ) plât poeth, (5) croes-hylif, (6) x, y camau lleoli a (7) sbesimenau dur di-staen.Mae dau drawst arosodedig, wedi'u cylchu mewn coch ar y chwith, yn creu strwythurau llinol ar y sampl ar onglau \(2\theta\) (gan gynnwys pegyniad s- a p-polariad).
Mae'r setiau data a ddefnyddiwyd a/neu a ddadansoddwyd yn yr astudiaeth gyfredol ar gael gan yr awduron priodol ar gais rhesymol.
Amser post: Ionawr-07-2023